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扫描电子显微镜(SEM)

发布者:发布时间:2021-09-01浏览次数:

生产厂商

日本电子(JEOL)

型号

JSM-6490LV

联系人

高艳

存放地址

化学化工实验楼A208

主要性能指标

分辨率:小于3.0nm (30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);

小于4.0nm(钨灯丝,背散射电子);

加速电压最小范围:0.5~30KV, 10V/步;

放大倍数范围:20~300,000 倍;

真空系统:高真空度:1.5×10-3Pa;低真空度:6~270Pa;

电子束扫描控制:扫描模式:点、线、面、选区;

能谱仪SiLi)探测器:分辨率优于133eV;

能谱探测器的有效面积:10mm2

能谱元素分析范围:B5~U92。

仪器使用功能

微观形貌分析;微观组织结构观察;

微区成份分析;金属材料断口分析和失效分析等。

仪器适用范围

广泛应用于医学、生物学、化工、地质、金属、陶瓷、半导体、纳米材料等各领域。主要应用于材料断口分析、微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析、层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。